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发明名称 Micro defects in silicon wafers
摘要
申请公布号 GB9618897(D0) 申请公布日期 1996.10.23
申请号 GB19960018897 申请日期 1996.09.10
申请人 BIO-RAD MICROMEASUREMENTS LIMITED 发明人
分类号 G01N21/64;G01N21/88;G02B21/00;H01L21/66 主分类号 G01N21/64
代理机构 代理人
主权项
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