| 发明名称 |
SINGLE WAFER SPIN ETCHING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08279485(A) |
申请公布日期 |
1996.10.22 |
| 申请号 |
JP19950104581 |
申请日期 |
1995.04.06 |
| 申请人 |
NISSO ENG KK |
发明人 |
YONETANI AKIRA;KACHI TOSHIMITSU;KATAYANAGI MAMORU;SAWAURA MITSUO;WATANABE YASUHIRO |
| 分类号 |
H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/306 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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