| 发明名称 |
COMPOSITION FOR FORMATION OF IR FILM OR IR OXIDE FILM, AND IR FILM, IR OXIDE FILM, IR FILM PATTERN AND IR OXIDE FILM PATTERN FORMED FROM THIS COMPOSITION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08277473(A) |
申请公布日期 |
1996.10.22 |
| 申请号 |
JP19950082546 |
申请日期 |
1995.04.07 |
| 申请人 |
MITSUBISHI MATERIALS CORP |
发明人 |
UCHIDA HIROTO;SAI ATSUSHI;OGI KATSUMI |
| 分类号 |
C23C18/08;C23C18/12;C23C30/00;H01L21/28;H01L21/316;(IPC1-7):C23C18/08 |
主分类号 |
C23C18/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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