| 发明名称 |
PARTS CONSTITUTING FILM FORMING DEVICE AND THEIR PRODUCTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08277460(A) |
申请公布日期 |
1996.10.22 |
| 申请号 |
JP19950108165 |
申请日期 |
1995.04.06 |
| 申请人 |
ULVAC JAPAN LTD |
发明人 |
SAGUSA NOBUYUKI;HASEGAWA TSUTOMU;OZAKI NORIO;SUWA HIDENORI |
| 分类号 |
C23C14/00;C23C14/56;C23C16/02;C23C16/44;C23C22/06;H01L21/31;(IPC1-7):C23C14/00 |
主分类号 |
C23C14/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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