发明名称 MANUFACTURE OF THIN DISPLAY FILM SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08279619(A) 申请公布日期 1996.10.22
申请号 JP19950104750 申请日期 1995.04.04
申请人 SONY CORP 发明人 INOUE YUKO
分类号 H01L21/265;H01L21/268;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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