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发明名称 NORMAL PRESSURE VAPOR GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08274030(A) 申请公布日期 1996.10.18
申请号 JP19950071281 申请日期 1995.03.29
申请人 NEC CORP 发明人 ONODERA TAKAO
分类号 C23C16/44;C23C16/455;C23C16/52;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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