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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH08274098(A) 申请公布日期 1996.10.18
申请号 JP19950076699 申请日期 1995.03.31
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 INOUE TAKAKO
分类号 H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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