发明名称 CLEANING METHOD UTILIZING CHARGE ON SURFACE OF SOLID
摘要
申请公布号 JPH08271522(A) 申请公布日期 1996.10.18
申请号 JP19910266304 申请日期 1991.10.15
申请人 OLYMPUS OPTICAL CO LTD 发明人 KOJIMA KEIJIRO;DOBASHI KENJI;MOTOYAMA IKUO;SAKUMA KAZU
分类号 G01N33/543;G01N35/02;(IPC1-7):G01N35/02;//G01N33/5 主分类号 G01N33/543
代理机构 代理人
主权项
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