| 发明名称 |
DRY ETCHING AND DRY ETCHING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08274071(A) |
申请公布日期 |
1996.10.18 |
| 申请号 |
JP19950074326 |
申请日期 |
1995.03.31 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
KURIHARA KAZUAKI;HAYASHI HISATAKA;SEKINE MAKOTO;HORIOKA KEIJI |
| 分类号 |
C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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