| 发明名称 |
FOCUSING METHOD FOR USE IN ELECTRON BEAM DEVICE, AND ELECTRON BEAM DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08273576(A) |
申请公布日期 |
1996.10.18 |
| 申请号 |
JP19950073440 |
申请日期 |
1995.03.30 |
| 申请人 |
JEOL LTD |
发明人 |
YAMADA MITSUGI;FUTAMURA YOSHIHIKO |
| 分类号 |
G21K5/04;H01J37/21;(IPC1-7):H01J37/21 |
主分类号 |
G21K5/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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