发明名称 Vorrichtung zum Aufbringen dünner Schichten auf ein Substrat
摘要
申请公布号 DE19513691(A1) 申请公布日期 1996.10.17
申请号 DE19951013691 申请日期 1995.04.11
申请人 BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AG, 63450 HANAU, DE 发明人 SCHUHMACHER, MANFRED, 63755 ALZENAU, DE;WINTER, ERWIN, 63456 HANAU, DE;SAUER, ANDREAS, 63768 HOESBACH, DE;MARQUARDT, DIETMAR, 63526 ERLENSEE, DE;SZCZYRBOWSKI, JOACHIM, DR., 63773 GOLDBACH, DE;TESCHNER, GOETZ, 63571 GELNHAUSEN, DE;SKUK, PETER, 61130 NIDDERAU, DE;KUNZ, HANS, 63594 HASSELROTH, DE
分类号 C23C14/34;C23C14/56;H01J37/32;H01J37/34;(IPC1-7):H01J37/32;C23C14/22 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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