发明名称 VORRICHTUNG ZUR KATHODENZERSTAEUBUNG
摘要
申请公布号 DE1690687(B1) 申请公布日期 1972.08.24
申请号 DE19671690687 申请日期 1967.05.12
申请人 SIEMENS AG 发明人 GAWEHN HERBERT DR
分类号 C23C14/35;H01J37/34;(IPC1-7):C23C15/00 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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