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发明名称 Ion implantation method and apparatus
摘要
申请公布号 EP0491313(B1) 申请公布日期 1996.10.16
申请号 EP19910121500 申请日期 1991.12.16
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 BRIGHT, NICHOLAS;BURGIN, DAVID RICHARD;MORGAN, TIMOTHY GREY;LOWRIE, CRAIG JOHN;ITO, HIROYUKI
分类号 C23C14/48;H01J37/05;H01J37/09;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
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