| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FROM CLEANING END FACE OF SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08264923(A) |
申请公布日期 |
1996.10.11 |
| 申请号 |
JP19950068429 |
申请日期 |
1995.03.27 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP;TOSHIBA ELECTRON ENG CORP |
发明人 |
KASHII KENICHI |
| 分类号 |
G02F1/1333;H05K3/06;H05K3/26;(IPC1-7):H05K3/06;G02F1/133 |
主分类号 |
G02F1/1333 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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