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发明名称 REACTION FURNACE FOR PRODUCING SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH08264521(A) 申请公布日期 1996.10.11
申请号 JP19950087485 申请日期 1995.03.20
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO LTD 发明人 SAKAMOTO ICHIRO
分类号 H01L21/22;C30B33/00;H01L21/00;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
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