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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER HALBLEITERVORRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE69028397(D1) 申请公布日期 1996.10.10
申请号 DE1990628397 申请日期 1990.12.26
申请人 SONY CORP., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 HOZUMI, HIROKI, SHINAGAWA-KU TOKYO 141, JP;ARAKI, SHINICHI, SHINAGAWA-KU TOKYO 141, JP
分类号 H01L27/04;H01L21/331;H01L21/822;H01L21/8222;H01L27/06;H01L29/73;H01L29/732;(IPC1-7):H01L27/04;H01L21/320 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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