| 发明名称 | 硅微热致动泵及其制造工艺 | ||
| 摘要 | 一种硅微热致动泵，属液体变容式机械领域。本微型泵利用双金属热致动原理工作，由两片硅薄膜片组成在硅薄膜上蚀刻有泵腔，流体沟道和单向阀，并有由单晶硅薄膜，铝膜组成的双金属层，在单晶硅薄膜和铝膜之间有加热元件。本微型泵由于采用了双金属层热致动方式，及双面驱动结构，所以作用力大，驱动电压低，结构简单，易于集成，制造方便。 | ||
| 申请公布号 | CN1132317A | 申请公布日期 | 1996.10.02 |
| 申请号 | CN95117829.6 | 申请日期 | 1995.12.08 |
| 申请人 | 清华大学 | 发明人 | 周兆英;杨岳;叶雄英;李勇 |
| 分类号 | F04B43/02;H01L21/302 | 主分类号 | F04B43/02 |
| 代理机构 | 清华大学专利事务所 | 代理人 | 章瑞溥 |
| 主权项 | 1、一种硅微热致动泵，其特征是用双金属层热致动原理工作，由两片硅薄膜片组成，在硅薄膜片上蚀刻有泵腔，流体沟道和单向阀，并有由单晶硅薄膜，铝薄膜组成的双金属层，在单晶硅薄膜和铝薄膜之间有加热元件。 | ||
| 地址 | 100084北京市海淀区清华园 | ||