发明名称 Verfahren zum Züchten eines einkristallinen Siliziumstabes
摘要
申请公布号 DE69213059(D1) 申请公布日期 1996.10.02
申请号 DE1992613059 申请日期 1992.03.20
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 YAMAGISHI, HIROTOSHI, ANNAKA-SHI, GUNMA-KEN, JP;KIMURA, MASANORI, ANNAKA-SHI, GUNMA-KEN, JP;ARAI, HIDEO, ANNAKA-SHI, GUNMA-KEN, JP
分类号 C30B13/00;C30B13/26;(IPC1-7):C30B13/00 主分类号 C30B13/00
代理机构 代理人
主权项
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