发明名称 Verfahren und Einrichtung zum plasmaaktivierten Elektronenstrahlverdampfen
摘要
申请公布号 DE4336681(C2) 申请公布日期 1996.10.02
申请号 DE19934336681 申请日期 1993.10.27
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V., 80636 MUENCHEN, DE 发明人 GOEDICKE, KLAUS, 01307 DRESDEN, DE;SCHEFFEL, BERT, 01324 DRESDEN, DE;RESCHKE, JONATHAN, 01067 DRESDEN, DE;SCHILLER, SIEGFRIED, PROF. DR., 01324 DRESDEN, DE;KIRCHHOFF, VOLKER, 01324 DRESDEN, DE;WERNER, TORSTEN, 01217 DRESDEN, DE
分类号 C23C14/24;C23C14/30;C23C14/56;H01J37/305;(IPC1-7):H01J37/305;H01J37/32 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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