发明名称 Einrichtung zur Molekularstrahlepitaxie
摘要
申请公布号 DE68926577(T2) 申请公布日期 1996.10.02
申请号 DE19896026577T 申请日期 1989.03.23
申请人 ROHM CO. LTD., KYOTO, JP 发明人 TANAKA, HARUO, C/O ROHM CO., LTD., UKYO-KU, KYOTO, JP;MUSHIAGE, MASATO, C/O ROHM CO., LTD., UKYO-KU, KYOTO, JP;ISHIDA, YUHJI, C/O ROHM CO., LTD., UKYO-KU, KYOTO, JP
分类号 C23C14/56;C30B23/02;H01L21/00;H01L21/677;(IPC1-7):C30B23/02;C30B29/40 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
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