| 发明名称 |
METHOD FOR EPITAXIAL LIFT-OFF FOR OXIDE FILMS AND RESULTANT STRUCTURES |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP0734323(A1) |
申请公布日期 |
1996.10.02 |
| 申请号 |
EP19950905376 |
申请日期 |
1994.12.12 |
| 申请人 |
SUPERCONDUCTOR TECHNOLOGIES INC. |
发明人 |
EDDY, MICHAEL, M. |
| 分类号 |
B32B9/00;C04B35/45;C04B35/622;G02F1/00;H01L39/24;(IPC1-7):B32B31/24;C04B35/46;H01G9/004 |
主分类号 |
B32B9/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
