发明名称 METHOD FOR GROWING GAAS SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH08253396(A) 申请公布日期 1996.10.01
申请号 JP19950054552 申请日期 1995.03.14
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 HASHIO KATSUSHI;TATSUMI MASAMI;SAWADA SHINICHI
分类号 C30B15/02;C30B15/20;C30B27/02;C30B29/42;H01L21/208;(IPC1-7):C30B29/42 主分类号 C30B15/02
代理机构 代理人
主权项
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