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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08250568(A) 申请公布日期 1996.09.27
申请号 JP19950049731 申请日期 1995.03.09
申请人 FUJITSU LTD 发明人 MISAWA NOBUHIRO
分类号 H01L21/66;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/66;H01L21/320 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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