发明名称 SCANNING PROXIMITY FIELD OPTICAL MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH08248043(A) 申请公布日期 1996.09.27
申请号 JP19950047506 申请日期 1995.03.07
申请人 NIKON CORP 发明人 OSAWA HISAO
分类号 G01N37/00;G01Q10/06;G01Q60/18;G02B21/00;(IPC1-7):G01N37/00 主分类号 G01N37/00
代理机构 代理人
主权项
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