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发明名称 ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH08250462(A) 申请公布日期 1996.09.27
申请号 JP19950055666 申请日期 1995.03.15
申请人 NEC CORP 发明人 MAEDA AKIYOSHI
分类号 H01L21/28;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/308;H01L21/3213;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/306;H01L21/321 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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