发明名称 RESIST COATING METHOD
摘要
申请公布号 JPH08250397(A) 申请公布日期 1996.09.27
申请号 JP19950053881 申请日期 1995.03.14
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 YONETANI KENJI
分类号 H01L21/027;H01L21/312;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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