标准气体产生装置

摘要

本实用新型属于标准气体产生装置的设计。本实用新型是在三通阀的下段设置一质量流量控制器，采用8031/8032单片微机技术，设置微机接口板用以控制恒温室温度和气体流量，从而实现计算机自动控制、测量、显示。本实用新型由于气路部分采用质量流量控制器，电子测控部分采用8031/8032微机技术，使其形成一个完整的智能控制系统，整个装置温度控制精度高，气流量稳定性好，并且该装置具有多种监测、监控和数据记忆功能，可在无人值守的情况下，长时间连续可靠的运行。

主权项

1.一种标准气体产生装置，结构是小盖1在渗透管的上方，输入口2与干燥管3相通，稳压管4接受来自3的气流进行稳压，5(1)是三通将来自4的气流分为两路，一路到压力表6，另一路到三通阀7(1)，三通阀7(1)与调节阀8(1)相接时，气流直接进入四通11，四通11同时将来自调节阀8(1)的气体分两路引入转子流量计12(1)、12(2)，转子流量计12(1)对来自11的气流进行调节并显示，作为载带渗透物质的载气进入恒温室13，转子流量计12(2)对来自11的气流进行调节并显示，作为稀释气送入混合管14，混合管14的气体经三通5(2)分两路，一路到调节阀8(2)进入放空口15，另一路进入三通阀7(2)进输出口16，产生标气，其特征在于三通阀7(1)与变径接头9(1)细的一端相接时，变径接头9(1)粗的一端与质量流量控制器10的一侧相接，质量流量控制器10的另一侧与变径接头9(2)粗的一端相接，将气体引入四通11，18为变压器，带有8031/8032单片微机控制接口板19通过电缆与质量流量控制器10、电风扇20、加热器21、制冷器22、温度传感器23相接，通过电源开关17控制，过热保护开关24安置在恒温室13内，与加热器21相串联。