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发明名称 CVD diamond or diamond-like carbon for chemical-mechanical polish etch stop
摘要
申请公布号 EP0540444(B1) 申请公布日期 1996.09.25
申请号 EP19920480143 申请日期 1992.10.09
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 JASO, MARK ANTHONY;JONES, PAUL BRADLEY;MEYERSON, BERNARD STEELE;PATEL, VISHNUBHAI VITTHALBHAI
分类号 H01L21/3105;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/311 主分类号 H01L21/3105
代理机构 代理人
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