发明名称 |
FILM FORMATION-TREATING DEVICE AND FILM FORMATION TREATMENT |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH08246154(A) |
申请公布日期 |
1996.09.24 |
申请号 |
JP19950079954 |
申请日期 |
1995.03.10 |
申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD;TERU ENG KK |
发明人 |
YONENAGA TOMIHIRO;TACHIBANA MITSUHIRO;TANAKA KIYOSHI |
分类号 |
C23C16/44;C23C16/455;C23C16/48;H01L21/205;H01L21/285;(IPC1-7):C23C16/44 |
主分类号 |
C23C16/44 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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