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发明名称 SOI-BiCMOS-Verfahren
摘要
申请公布号 DE19515797(C1) 申请公布日期 1996.09.19
申请号 DE19951015797 申请日期 1995.04.28
申请人 SIEMENS AG, 80333 MUENCHEN, DE 发明人 KERBER, MARTIN, DR., 81827 MUENCHEN, DE
分类号 H01L21/02;H01L21/331;H01L21/8222;H01L21/8228;H01L21/8238;H01L21/8248;H01L21/8249;H01L21/84;H01L27/06;H01L27/082;H01L27/092;H01L27/12;H01L29/73;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/331;H01L21/86;H01L21/266 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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