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发明名称 VERFAHREN ZUR ÜBERWACHUNG VON IONEN-UNTERSTÜTZTEN BEARBEITUNGSVORGÄNGEN AN WAFERN UND VORRICHTUNG ZUR DURCHFÜHRUNG DES VERFAHRENS
摘要
申请公布号 DE59010453(D1) 申请公布日期 1996.09.19
申请号 DE19905010453 申请日期 1990.03.31
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V., 80636 MUENCHEN, DE 发明人 HEINRICH, FRIEDHELM, D-1000 BERLIN 41, DE
分类号 G01N21/62;H01J37/304;H01J37/305;H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 G01N21/62
代理机构 代理人
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