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发明名称 SURFACE SHAPE MEASURING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08240597(A) 申请公布日期 1996.09.17
申请号 JP19950341300 申请日期 1995.12.27
申请人 OLYMPUS OPTICAL CO LTD;NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 KANEKO REIZO;OGUCHI SHIGEMITSU;UCHINO FUMIO;ARAMAKI SHINJI;NAKAMURA IKUZO;SATO YASUSHI
分类号 G01B21/30;G01N37/00;G01Q30/06;G01Q60/24;H01J37/28;(IPC1-7):G01N37/00 主分类号 G01B21/30
代理机构 代理人
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