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发明名称
MANUFACTURE OF THIN FILM ELEMENT WITH INSULATING FILM
摘要
申请公布号
JPH08241892(A)
申请公布日期
1996.09.17
申请号
JP19950066689
申请日期
1995.03.02
申请人
CASIO COMPUT CO LTD
发明人
MATSUMURA MITSUYOSHI
分类号
H01L21/31;H01L21/316;H01L21/318;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/316
主分类号
H01L21/31
代理机构
代理人
主权项
地址
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