发明名称 MANUFACTURE OF THIN FILM ELEMENT WITH INSULATING FILM
摘要
申请公布号 JPH08241892(A) 申请公布日期 1996.09.17
申请号 JP19950066689 申请日期 1995.03.02
申请人 CASIO COMPUT CO LTD 发明人 MATSUMURA MITSUYOSHI
分类号 H01L21/31;H01L21/316;H01L21/318;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
地址