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发明名称 SEMICONDUCTOR PRESSURE SENSOR
摘要
申请公布号 JPH08240495(A) 申请公布日期 1996.09.17
申请号 JP19950043807 申请日期 1995.03.03
申请人 HITACHI LTD 发明人 MATSUMOTO KAZUYOSHI;YAMAGUCHI SHINICHI
分类号 G01L9/04;G01L9/00;G01L19/00;(IPC1-7):G01L9/04 主分类号 G01L9/04
代理机构 代理人
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