发明名称 COPLANARITY MEASURING METHOD
摘要
申请公布号 JPH08240422(A) 申请公布日期 1996.09.17
申请号 JP19950043054 申请日期 1995.03.02
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 MIKI AKIRA
分类号 G01B11/30;(IPC1-7):G01B11/30 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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