发明名称 FORMATION OF ELECTRODE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08236482(A) 申请公布日期 1996.09.13
申请号 JP19950058024 申请日期 1995.02.22
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 SUZUKI TETSUYA;TERADA TOSHIYUKI;FUJITA YUKIHISA;FUJII SATOSHI
分类号 H01L21/28;H01L21/288;(IPC1-7):H01L21/288 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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