发明名称 Verfahren zur Steuerung einer kollimierten Sputterquelle
摘要
申请公布号 DE69400351(D1) 申请公布日期 1996.09.05
申请号 DE19946000351 申请日期 1994.09.15
申请人 VARIAN ASSOCIATES, INC., PALO ALTO, CALIF., US 发明人 ACTOR, GERI M., MONTE SERENO, CALIFORNIA 95030, US;HOFFMAN, VANCE E., JR., LOS ALTOS, CALIFORNIA 94022, US;PATTERSON, PAMELA R., MOUNTAIN VIEW, CALIFORNIA 94040, US;HIGA, STEPHEN M., SAN JOSE, CALIFORNIA 95136, US;MILLER, PATRICK O., MOUNTAIN VIEW, CALIFORNIA 94040, US
分类号 C23C14/34;C23C14/54;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/54 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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