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发明名称 Modulierende Absperrvorrichtung
摘要
申请公布号 DE69024825(T2) 申请公布日期 1996.09.05
申请号 DE19906024825T 申请日期 1990.02.01
申请人 MKS INSTRUMENTS INC., ANDOVER, MASS., US 发明人 EWING, JAMES H., LEXINGTON, MASSACHUSETTS 02173, US
分类号 F16K31/06;F16K31/10;F16K51/02;(IPC1-7):F16K31/06 主分类号 F16K31/06
代理机构 代理人
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