发明名称
摘要
申请公布号 JP2530169(B2) 申请公布日期 1996.09.04
申请号 JP19870192725 申请日期 1987.08.03
申请人 FUJITSU LTD 发明人 NAKAMURA SHUNJI
分类号 H01L29/161;H01L21/331;H01L29/165;H01L29/72;H01L29/73;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/331 主分类号 H01L29/161
代理机构 代理人
主权项
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