| 发明名称 |
Surface cleaning with argon |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2274742(B) |
申请公布日期 |
1996.09.04 |
| 申请号 |
GB19940001588 |
申请日期 |
1994.01.27 |
| 申请人 |
* SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES LTD |
发明人 |
TADAMODO * TAMAI;YOICHIRO * IKEYA |
| 分类号 |
B08B7/00;B24C1/00;B24C3/32;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/302 |
主分类号 |
B08B7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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