| 发明名称 |
CHARGED PARTICLE BEAM EXPOSURE SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08227853(A) |
申请公布日期 |
1996.09.03 |
| 申请号 |
JP19950312431 |
申请日期 |
1995.11.30 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
SAKAMOTO JUICHI;YASUDA HIROSHI;YAMADA AKIO;KAWASHIMA KENICHI;DAIKYO YOSHIHISA |
| 分类号 |
H01J37/305;G06F17/50;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
H01J37/305 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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