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发明名称 HEATER TOOL STRUCTURE AND METHOD AND APPARATUS FOR THERMOCOMPRESSION
摘要
申请公布号 JPH08227918(A) 申请公布日期 1996.09.03
申请号 JP19950055073 申请日期 1995.02.20
申请人 NIPPON AVIONICS CO LTD 发明人 ITO ATSUSHI
分类号 H01L21/603;B23K3/03;B23K3/04;G02F1/1345;H01L21/60;H05K3/32;H05K3/36;(IPC1-7):H01L21/603 主分类号 H01L21/603
代理机构 代理人
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