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发明名称 FORMING METHOD OF INSULATING FILM
摘要
申请公布号 JPH08227891(A) 申请公布日期 1996.09.03
申请号 JP19950055277 申请日期 1995.02.21
申请人 CASIO COMPUT CO LTD 发明人 IWANABE MITSUKI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/318;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/318;H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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