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发明名称 FORMING METHOD OF METAL THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH08227856(A) 申请公布日期 1996.09.03
申请号 JP19950032225 申请日期 1995.02.21
申请人 NEC CORP 发明人 NIIMURA TOSHIKI
分类号 C23C14/34;H01L21/203;H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/203 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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