| 发明名称 |
FORMATION OF THIN FILM BY LASER VAPOR DEPOSITION METHOD |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH08225931(A) |
申请公布日期 |
1996.09.03 |
| 申请号 |
JP19950053610 |
申请日期 |
1995.02.17 |
| 申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD |
发明人 |
NAGAISHI RYUKI |
| 分类号 |
C30B23/08;C23C14/28;C30B29/22;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24;(IPC1-7):C23C14/28 |
主分类号 |
C30B23/08 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
