| 发明名称 |
VAPORIZER SYSTEM FOR ION SOURCE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
KR960011851(B1) |
申请公布日期 |
1996.09.03 |
| 申请号 |
KR19880005546 |
申请日期 |
1988.05.13 |
| 申请人 |
VARIAN ASSOCIATES INC. |
发明人 |
SHU, SATOH;EVANS JR., LOUIS E. |
| 分类号 |
H01J27/20;H01J27/02;H01J27/26;H01J37/08;H01J49/04;(IPC1-7):H01J37/08 |
主分类号 |
H01J27/20 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
