| 发明名称 |
ORGANOSILICON POLYMER, ITS PRODUCTION AND SEMICONDUCTOR DEVICE PREPARED BY USING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01221431(A) |
申请公布日期 |
1989.09.04 |
| 申请号 |
JP19880043287 |
申请日期 |
1988.02.27 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
OIKAWA AKIRA;FUKUYAMA SHUNICHI |
| 分类号 |
C08G77/50;C08G77/06;C08G77/48;H01L21/312 |
主分类号 |
C08G77/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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