发明名称 BONDER AND BONDING METHOD FOR CHIP
摘要
申请公布号 JPH08227905(A) 申请公布日期 1996.09.03
申请号 JP19950031224 申请日期 1995.02.20
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 NAGAFUKU HIDEKI
分类号 H01L21/52;(IPC1-7):H01L21/52 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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