| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR INSPECTING SURFACE DEFECT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08220003(A) |
申请公布日期 |
1996.08.30 |
| 申请号 |
JP19950020453 |
申请日期 |
1995.02.08 |
| 申请人 |
KUBOTA CORP |
发明人 |
ONISHI SHUICHI;YOKOTA KOJI;HARA HIRONORI |
| 分类号 |
G01B11/30;G01N21/88;G01N21/956;G11B5/84;(IPC1-7):G01N21/88 |
主分类号 |
G01B11/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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