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发明名称 METHOD FOR DETERMINING SHAPE OF PROBE FOR SPM IMAGING AND IMAGE CORRECTION METHOD EMPLOYING IT
摘要
申请公布号 JPH08220108(A) 申请公布日期 1996.08.30
申请号 JP19950027796 申请日期 1995.02.16
申请人 NATL RES INST FOR METALS 发明人 MASUDA HIROYUKI
分类号 G01B21/20;G01B21/00;G01B21/30;G01N37/00;G01Q30/04;G01Q30/06;G01Q30/08;G01Q30/20;H01J37/28;(IPC1-7):G01N37/00 主分类号 G01B21/20
代理机构 代理人
主权项
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